スパッタコーター
高精度・高信頼の薄膜形成を、シンプルに。
ATAスパッタコータ ― 研究から開発まで、確かな成膜品質を。
製品特長
- 均一性の高い成膜：ナノレベルでの膜厚制御に対応
- 操作性に優れた設計：直感的なタッチパネル操作とシンプルUI
- 幅広い用途に対応：研究開発・試作・小規模生産に最適
- 堅牢で信頼性の高い構造：長期使用でも安定した性能を維持
- メイド・イン・ジャパン品質：設計・製造・アフターサポートまで一貫対応
想定用途
- 光学薄膜形成（レンズ、フィルター、光学デバイス）
- 半導体研究・デバイス開発
- 電子部品の表面処理・電極形成
- 学術研究機関での基礎研究
ATAのスパッタコータは、研究者や技術者のパートナーとして、
「安定」「高精度」「信頼性」を兼ね備えた成膜環境を提供します。
詳細仕様やデモのご相談はお気軽にお問い合わせください。
スパッタコーター製品ラインナップ
メタルプラズマコーター
AT-ET / AT-ETa
ターボマルチコーター
AT-901
ギンブルマルチコーター
AT-903
カーボンコーティングアタッチメント
AT-CA
