― 卓上で実現する、高品質・安定コーティング ―
AT-ETは、研究・開発・品質評価の現場において求められる
**「高品質なコーティング」と「扱いやすさ」**を両立した卓上型メタルプラズマコーターです。
ロータリーポンプを内蔵したコンパクト設計により、
設置スペースを最小限に抑えながら、安定した真空環境を実現。
SEM観察前処理や各種材料評価において、再現性の高いコーティングを提供します。
特徴
● ワンボタンで完結する自動コーティング
排気からコーティング完了までを自動化。
専門知識がなくても、誰でも安定した処理が可能です。
→ 作業者依存を排除し、品質のばらつきを低減
● 卓上サイズで省スペース導入
ポンプ内蔵により外部設備不要。
研究室・検査室・開発現場など、限られたスペースでも設置可能。
→ 既存設備を変更せず導入可能
● 真空状態をデジタルで可視化
真空度をデジタル表示し、状態をリアルタイムに把握。
→ 条件設定・再現実験が容易
● 安定したコーティング品質
均一な膜形成により、観察・分析精度を向上。
微細構造観察や材料評価において高い信頼性を発揮します。
■ 主な用途
- SEM観察用前処理（導電化）
- 材料表面評価
- 電子部品・樹脂・フィルムの観察
- 研究開発・品質保証工程
■ 導入メリット
- 作業時間の短縮（自動化）
- オペレーター教育コスト削減
- 測定・観察の再現性向上
- 設備導入のハードル低減（コンパクト設計）
■ このようなお客様に最適
- 初めてコーターを導入する研究機関
- 操作性を重視する品質検査部門
- 限られたスペースで設備導入したい現場
- 安定した測定結果を求める開発部門
仕様
| スパッタリング方式 | DCマグネトロンスパッタリング 放電電圧：DC 1500V max 放電電流：DC 10、20、30、40mAから選択 |
| ターゲット(別売) | φ30、0.1mm厚のAu、Pt、Ag、Au(8)-Pd(2)及びφ30、0.5mm厚のInが使用可能 |
| 使用ガス | Air、Ar（ArはAT-ETAのみ） |
| 到達真空圧 | 8Pa以下 |
| チャンバー内寸 | φ87mm |
| 試料ホルダー | φ70mm |
| 真空排気 | ロータリーポンプ(10L/min)※内蔵 |
| 寸法 | 本体 250W × 370D × 325H |
| 重量 | 本体 約15kg |
| 電源 | AC 100V 3A |
コーティング例
◆凹凸のある試料(ろ紙表面)の撮像例(SEM画像)
