― 高倍率観察に最適化された、高品位クリーンコーティング ―
AT-901は、SEMなどの高倍率観察において求められる
高精細・低ダメージ・高再現性のコーティングを実現するターボ分子ポンプ搭載型コーターです。
特にCrコーティングに対応し、微細構造観察において優れた像コントラストと導電性を提供。
研究・材料解析・品質評価の現場で、より高精度な観察を可能にします。
特徴
● 高倍率観察に最適なCrコーティング対応
クロム（Cr）による微細粒子コーティングが可能。
→ 高分解能観察でも構造を崩さず、シャープな像を実現
● 特殊シャッター機構による熱ダメージ低減
コーティング時の熱影響を抑制する独自シャッターを搭載。
→ 樹脂・フィルムなど熱に弱い試料にも対応
● ターボ分子ポンプによるクリーン真空環境
オイルレス排気によりコンタミネーションを防止。
→ 高純度コーティングと安定した再現性を実現
● 高品質コーティングによる観察精度向上
均一で微細な膜形成により、ノイズ低減・コントラスト向上を実現。
→ 分析・評価の信頼性を向上
■ 主な用途
- SEM高倍率観察用コーティング
- 微細構造解析（ナノ・サブミクロン領域）
- 樹脂・フィルム・バイオ試料の観察
- 材料研究・不良解析・品質評価
■ 導入メリット
- 高倍率観察時の像品質向上
- 試料ダメージ低減による測定精度向上
- 汚染リスク低減（クリーン真空）
- 再現性の高いコーティング条件確立
■ このようなお客様に最適
- 高倍率SEM観察を行う研究機関
- ナノレベルの解析・評価を行う開発部門
- 試料ダメージを避けたいバイオ・樹脂系評価
- コーティング品質を重視する品質保証部門
仕様
| スパッタリング方式 | DCマグネトロンスパッタリング 放電電圧：DC 1500V max 放電電流：DC 50mA max |
| ターゲット(別売) | Cr、Pt、Au、Au-Pdなどオプションとして各種ターゲットを用意 |
| 使用ガス | Air、Ar |
| 到達真空圧 | 10-2Pa以下(スパッタ時1Pa) |
| チャンバー内寸 | φ100mm |
| 試料ホルダー | φ50mm |
| 真空排気 | 主排気：ターボミニポンプ(本体内蔵) 補助排気：ダイヤフラムポンプ(外置き) |
| 寸法 | 本体 360W × 417D × 380H |
| 重量 | 本体 約20kg ダイヤフラムポンプ 4kg |
| 電源 | AC 100V/200V(出荷時選択) 5A 15A (別売カーボンコーディングアタッチメント) |
コーティング例
◆凹凸のある試料（ろ紙表面）の撮像例（SEM画像）
◆ コーティング膜粒状性の違い例（AFM像）
◆カーボン薄膜のTEM観察像
ガラス基板にカーボンを蒸着させ、真空度の違いによる蒸着状態の違いを観察（TEM像）しました。
カーボン蒸着の状態は、雰囲気2Paより雰囲気0.02Paの方が、粒子が細かく着いていることがわかります。
（倍率は200,000倍）
※本装置の仕様及びデザイン等は、改良のため予告なく変更されることがありますのでご了承下さい。