― 複雑形状・凹凸試料に対応する、全方位均一コーティング ―
AT-903は、従来のコーターでは難しかった
凹凸・多孔質・立体構造試料への均一コーティングを実現する
ギンブル（全方位揺動）機構搭載の高性能マルチコーターです。
試料を多方向から連続的に揺動させることで、
影になる部分にも均一に膜を形成。
SEM観察・材料解析・先端研究において、これまでにない観察品質を提供します。
特徴
● ギンブルモーションによる全方位コーティング
試料を揺動させながらスパッタリングを行うことで、
凹凸や繊維状構造の奥まで膜形成が可能。
→ 「回り込み」が必要な試料で圧倒的な性能差
● 多様なターゲット材料に対応
Cr、Pt、Au、ITO、Cu、Ni、Mo、Wなど幅広い材料に対応。
→ 観察用途・導電化・機能膜など幅広く適用可能
● 完全ドライ排気による高クリーン環境
ターボ分子ポンプ＋ダイヤフラムポンプによりオイルレス排気。
→ 汚染を抑えた高純度コーティングを実現
● 熱ダメージを抑えるシャッター機構
スパッタ時の熱影響を低減。
→ 樹脂・フィルム・生体試料にも対応
本体とダイヤフラムポンプ
● ヘッド構成を選択可能（1ヘッド／2ヘッド）
用途・処理量に応じた柔軟な構成。
→ 研究用途から実用用途まで対応
◆ギンブル効果
ギンブル動作下で、凹凸のある試料表面上に均一薄膜がつけられます
倍率x50,000倍
ギンブルモーション動画
タッチパネル動作画面
■ 操作インターフェース
タッチパネルUIにより、以下の操作を一元管理：
- コーティング条件設定
- 真空状態の監視
- 処理プロセスの制御
設定値は視覚的に確認できるため、
条件の再現性確保および実験効率の向上に寄与します。
■ 主な用途
- 凹凸の大きい試料（繊維・多孔体・粉体）
- バイオ試料・細胞構造
- フィルター・ろ紙・不織布
- 3D構造材料・微細加工品
- ナノ・サブミクロン観察用途
■ 導入メリット
- 「影になる部分」の未コート問題を解決
- 複雑形状でも均一な導電膜形成
- 観察ノイズ低減・像品質向上
- 再現性の高いコーティング条件確立
■ このようなお客様に最適
- 繊維・フィルター・多孔材料を扱う研究者
- バイオ・医療系の微細構造観察
- 複雑形状部品の表面評価
- 従来コーターで「回り込み不足」に悩んでいる方
仕様
| スパッタリング方式 | DCマグネトロンスパッタリング 放電電圧：DC 1500V max 放電電流：DC 50mA max |
| ターゲット(別売) | Cr、ITO、Cu、Ni、Pt、Au、Mo、Wなどオプションとして各種ターゲットを用意 |
| 使用ガス | Air、Ar |
| 到達真空圧 | 10-4Pa以下 |
| チャンバー内寸 | φ100mm (1ヘッド)、φ127mm (2ヘッド) |
| 試料ホルダー | φ50mm (1ヘッド)、φ85mm (2ヘッド) |
| 揺動角度 | 0～20° |
| 真空排気 | 主排気：ターボ分子ポンプ(本体内蔵) 補助排気：ダイヤフラムポンプ(外置き) |
| 寸法 | 本体 360W×415D×480H (1ヘッド) 360W×450D×500H (2ヘッド) ダイヤフラムポンプ 145W×223D×217H |
| 重量 | 本体 約30kg ダイヤフラムポンプ 4kg |
| 電源 | AC 100V/200V(出荷時選択) 15A |
| オプション | プラズマクリーニング（本体オプション）により有機系異物除去・表面親水化処理可能 カーボンコーティングアタッチメント（オプション）によりカーボン被膜生成が可能（現在製作中） |
クリーニング（オプション）
コーティング例
◆ 他社との粒状性能比較 (試料：スライドガラス 倍率：×100,000)
◆ コーティング膜粒状性の違い例 (AFM像)
ガラス基板にカーボンを蒸着させ、真空度の違いによる蒸着状態の違いを観察（TEM像）しました。
カーボン蒸着の状態は、雰囲気2Paより雰囲気0.02Paの方が、粒子が細かく着いていることがわかります。
（倍率は200,000倍）
粒状が良い状態でCr非晶質膜及び白金再結晶化膜が出来ている事がわかります。
※本装置の仕様及びデザイン等は、改良のため予告なく変更されることがありますのでご了承下さい。