― SEM観察の幅を広げる、簡便カーボン蒸着ユニット ―
AT-CAは、AT-900シリーズコーターに接続することで、
カーボンコーティング（蒸着）を簡単に実現できるアタッチメントです。
金属コーティングでは対応が難しい試料に対して、
より自然な観察状態を維持しながら導電性を付与。
SEM・TEM観察の適用範囲を大きく広げます。
【御注意】AT-CA単体での動作は致しません。必ずAT-900シリーズと接続が必要です
特徴
● シャープペンシル型カーボン芯で簡単交換
専用加工不要のカーボン芯をそのまま使用可能。
→ 消耗品管理が容易で、運用コストも低減
● カーボン蒸着による自然な観察
金属コーティングに比べて膜の影響が少なく、
試料本来の形状・構造を保持。
→ 元素分析（EDS）や微細構造観察に最適
● 特殊シャッターによる熱ダメージ低減
蒸着時の熱影響を抑制する機構を搭載。
→ 樹脂・フィルム・バイオ試料にも対応
● ATシリーズと組み合わせて使用
AT-900シリーズに接続することで使用可能。
→ 既存装置の機能拡張として導入可能
■ 主な用途
- EDS分析用コーティング（元素干渉低減）
- バイオ試料・樹脂材料の観察
- フィルム・繊維・多孔材料
- 金属膜を避けたい微細構造観察
■ 導入メリット
- 金属コートとの使い分けが可能
- 分析精度向上（元素影響の低減）
- 試料ダメージの抑制
- 既存設備の価値向上（機能追加）
■ このようなお客様に最適
- SEMでEDS分析を行う研究者
- バイオ・樹脂系試料を扱う方
- 金属コートの影響を避けたい評価現場
- ATシリーズを既に導入済みのお客様
コーティング例
カーボン薄膜のTEM観察像
ガラス基板にカーボンを蒸着させ、真空度の違いによる蒸着状態の違いを観察（TEM像）しました。
カーボン蒸着の状態は、雰囲気2Paより雰囲気0.02Paの方が、粒子が細かく着いていることがわかります。
（倍率は200,000倍）
※本装置の仕様及びデザイン等は、改良のため予告なく変更されることがありますのでご了承下さい。